[发明专利]器件的检查方法、探针卡、中继板以及检查装置在审
| 申请号： | 201580040295.8 | 申请日： | 2015-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN106662613A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 加贺美徹也;铃木贯二 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 信号输入输出电路(33)具备输入线路(41)、共同输出线路(51)、多个个别输出线路(52)、继电器开关部(53)以及电阻元件(54)。在比较器(32)上连接有将来自多个DUT(10)的响应信号进行合成后传输的共同输出线路(51)。比较器(32)响应于从模式生成器(31)发送的试验信号，将合成响应信号与阈值进行比较，该合成响应信号是将从多个DUT(10)分别输出的响应信号合成为一个所得到的。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 检查 方法 探针 中继 以及 装置 | ||
【主权项】：
一种器件的检查方法，对在衬底上形成的多个器件的电气特性进行检查，该检查方法的特征在于，包括：第一步骤，从测试仪对与所述测试仪并联连接的多个器件同时输入试验信号；以及第二步骤，根据基于所输入的所述试验信号的来自所述多个器件的响应信号的合成值，来进行是否为所述多个器件中的一个以上的器件不合格的判定。
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