[发明专利]用于切片与查看样本成像的方法和设备

摘要

用于用双射束系统进行样本的切片与查看处理的方法、设备以及系统。所述切片与查看处理包括使在样本表面中形成的沟槽的垂直壁暴露；通过在壁相对于询问射束处于第一取向的同时用该射束询问壁来捕捉壁的第一图像；通过在壁相对于射束处于第二取向的同时用射束询问壁来捕捉壁的第二图像，其中，壁上的表面点与参考点之间的在第一图像中的第一距离不同于参考点与表面点之间的在第二图像中的第二距离；使用第一距离和第二距离来确定所述表面点的标高；以及使用所述标高向壁的形貌拟合曲线。

主权项

1.一种用于使用双带电粒子束来观察特征的设备，包括：聚焦离子束柱，其被配置成生成、聚焦并引导聚焦离子束；电子束柱，其被配置成生成、聚焦并引导电子束；一个或多个处理器；以及计算机可读存储介质，其被耦合到所述一个或多个处理器中的至少一个，所述计算机可读存储介质包括第一可执行指令和第二可执行指令，其中，第一可执行指令在被执行时促使所述一个或多个处理器引导聚焦离子束以在基板的表面中铣削沟槽，所述沟槽使在要观察特征周围具有一定面积的垂直壁暴露，并且其中，第二可执行指令在被执行时促使所述一个或多个处理器：在电子束柱相对于所述电子束柱的纵轴保持在第一入射角的同时引导电子束捕捉所述垂直壁的第一电子束图像；将所述纵轴与所述垂直壁之间的入射角从第一入射角变成第二入射角；在电子束柱保持在第二入射角的同时引导电子束捕捉所述垂直壁的第二电子束图像；以及基于第一电子束图像与第二电子束图像之间的点坐标的差来近似所述垂直壁的形貌。