[发明专利]单晶硅提拉用石英玻璃坩埚及其制造方法有效
| 申请号： | 201580041344.X | 申请日： | 2015-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN106574394B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 马场裕二 | 申请（专利权）人： | 信越石英株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C03B20/00;C03C19/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李英艳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明是一种石英玻璃坩埚的制造方法，用于制造石英玻璃坩埚，所述石英玻璃坩埚是用以自其内部所保持的硅融液提拉单晶硅，所述石英玻璃坩埚的制造方法，包含下述步骤：制作石英玻璃坩埚的步骤，所述石英玻璃坩埚具有由含有气泡的不透明石英玻璃所构成的外层和由实质上不含有气泡的透明石英玻璃所构成的内层；对所述制作出来的石英玻璃坩埚的内表面之中的在保持有硅融液时会与该硅融液接触的区域，进行粗面化的步骤；以及，根据对所述内表面经粗面化的石英玻璃坩埚进行热处理，来使所述经粗面化的区域的表面结晶化的步骤。由此，能够制造一种单晶硅提拉用石英玻璃坩埚，其能够在单晶硅提拉时有效地抑制坩埚内表面发生棕环的情况，并抑制单晶硅的结晶性混乱。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 提拉用 石英玻璃 坩埚 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种单晶硅提拉用石英玻璃坩埚的制造方法，用于制造石英玻璃坩埚，所述石英玻璃坩埚是用以自其内部所保持的硅融液提拉单晶硅，所述单晶硅提拉用石英玻璃坩埚的制造方法的特征在于，包含下述步骤：制作石英玻璃坩埚的步骤，该石英玻璃坩埚具有由含有气泡的不透明石英玻璃所构成的外层和由实质上不含有气泡的透明石英玻璃所构成的内层；对所述制作出来的石英玻璃坩埚的内表面之中的在保持有硅融液时会与该硅融液接触的区域，进行粗面化的步骤；以及，根据对所述内表面经粗面化的石英玻璃坩埚进行热处理，来使所述经粗面化的区域的表面结晶化的步骤。
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