[发明专利]传感装置有效
| 申请号： | 201580041838.8 | 申请日： | 2015-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN106662477B | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 中野洋;松本昌大;柳川善光;小野瀬保夫 | 申请（专利权）人： | 日立汽车系统株式会社 |
| 主分类号： | G01F1/692 | 分类号： | G01F1/692 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;牛孝灵 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种降低了因作用在物理量传感器的传感元件上的应力而产生的误差的、高精度、高可靠性的物理量传感器。本发明的物理量传感装置包括形成在Si基板上的空腔部、将所述空腔部覆盖的绝缘膜和形成于所述绝缘膜的加热部，并且包括检测所述空腔部上的绝缘膜的温度的检测元件，所述检测元件包括第一硅元件和第二硅元件，所述第一硅元件和所述第二硅元件使用不同种类的杂质进行了掺杂。 | ||
| 搜索关键词： | 传感 装置 | ||
【主权项】：
1.一种传感装置，包括形成在Si基板上的空腔部、将所述空腔部覆盖的绝缘膜和形成于所述绝缘膜的加热部，其特征在于：包括检测所述空腔部上的绝缘膜的温度的检测元件，所述检测元件利用电阻值随温度变化来检测温度，至少包括第一多晶硅元件和第二多晶硅元件，所述第一多晶硅元件和所述第二多晶硅元件使用不同种类的杂质进行了掺杂，使得所述第一多晶硅元件的因应变而引起的电阻值变化与所述第二多晶硅元件的因应变而引起的电阻值变化的增减方向不同。
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