[发明专利]用于光束表征的设备和方法

摘要

本发明的一方面涉及用于光束表征的方法，包括下列步骤：‑通过分离器光学件分离光束为第一子光束和第二子光束；‑第一子光束传播通过第一光学件，并且第二子光束传播通过第二光学件，分别地设置所述第一和第二光学件，这样称为“参考光束”的离开第一光学件时的第一子光束，以及称为“表征光束”的离开第二光学件时的第二子光束被时间延迟τ分离；‑通过复合器光学件的参考光束和表征光束的重组，这样光束空间地干涉和形成二维干涉模式，该二维干涉模式沿着第一平面延伸；‑通过测量系统，至少一部分二维干涉模式的频谱的测量；‑在频谱的至少一个空间点的时域中傅里叶变换的计算，在时域中所述的傅里叶变换具有时间中心峰以及第一和第二时间侧峰；‑对于所述第一和第二时间侧峰之一，频域中傅里叶变换的计算；‑对于所述频域中傅里叶变换，光谱振幅A_R(ω)和空间‑光谱相位_R(x,y,ω)的计算。

主权项

1.一种用于光束(FL)表征的方法(20)，该方法包括下列步骤：‑通过分离器光学件(Os、SR)分离光束(FL)为第一子光束(F1)和第二子光束(F2)，第一子光束采用第一光学路径(C1)，并且第二子光束采用第二光学路径(C2)；‑第一子光束(F1)传播通过第一光学件(O1)，并且第二子光束(F2)传播通过第二光学件(O2)，第一子光束(F1)在第一光学件(O1)的整个表面上具有非均匀的电磁场，第一光学件(O1)和第二光学件(O2)由于控制装置(Pz)而被分别地设置在第一光学路径(C1)和第二光学路径(C2)中，这样称为“参考光束(Fref)”的离开第一光学件时的第一子光束，以及称为“表征光束(Fcar)”的离开第二光学件时的第二子光束被时间延迟τ分离；‑通过复合器光学件(Or,SR)的参考光束(Fref)和表征光束(Fcar)的重组，这样光束空间地干涉和形成二维干涉模式(M1)，该二维干涉模式(M1)沿着第一平面(z1)延伸；‑通过测量系统(SM3,SM4)，至少一部分二维干涉模式(M1)的频谱(Spe)的测量，该测量系统(SM3,SM4)包括分光仪(SP)，该分光仪具有沿着第一平面(z1)的第一空间方向(x)延伸的入口狭缝(Fe)；‑在频谱(Spe)的至少一个空间点的时域(TFT)中傅里叶变换的计算，在时域(TFT)中所述的傅里叶变换具有时间中心峰(tc)以及第一和第二时间侧峰(tl1,tl2)；‑通过计算器(K)，对于所述第一和第二时间侧峰(tl1,tl2)之一，频域(TFT’)中傅里叶变换的计算；‑对于所述频域(TFT’)中傅里叶变换，通过计算器(K)，称为“相对光谱振幅”的光谱振幅A_R(ω)和称为“相对空间‑光谱相位”的空间‑光谱相位的计算。