[发明专利]形状测定装置、涂敷装置及形状测定方法

摘要

物镜(20)将来自落射光源(12)的白色光分离为两个光束，使一方照射透明膜(3)的表面并使另一方照射参照镜(24)，获得来自两面的反射光的干涉光。控制用计算机(40)使物镜(20)定位到透明膜(3)的上方后，使透明膜(3)和物镜(20)沿着上下方向相对移动的同时，拍摄多张干涉光的图像。控制用计算机(40)在CCD相机(30)的拍摄周期内，按拍摄顺序向拍摄的多张的图像附上图像编号，并对构成图像的各像素执行：求出多个亮度成为波峰的图像编号的第1阶段处理和拍摄多张图像后根据多个亮度成为波峰的图像编号来检测透明膜(3)的膜厚或凹凸部的高度的第2阶段处理。

主权项

1.一种形状测定装置，测定透明膜的膜厚或在所述透明膜的表面形成的凹凸部的高度，其特征在于，所述透明膜由单层或多层透明膜层叠形成，该形状测定装置包括：头部，其包含：输出白色光的照明装置；用于将所述照明装置射出的白色光分离为两个光束，使一方照射所述透明膜的所述表面而另一方照射参照面，使来自这两面的反射光干涉来获得干涉光的物镜；观察经由所述物镜获得的所述干涉光的观察光学系统；经由所述观察光学系统拍摄所述干涉光的拍摄装置；定位装置，其用于使所述头部与所述透明膜相对移动，使所述头部定位到所述透明膜的所述表面的上方的期望位置；以及形状检测部，其通过控制所述定位装置及所述拍摄装置，将所述物镜定位到所述透明膜的上方后，使从所述透明膜到所述物镜为止的上下方向的距离连续地变化的同时，拍摄多张所述干涉光的图像，根据拍摄到的所述多张的图像，检测所述透明膜的膜厚或所述凹凸部的高度，所述形状检测部执行：在所述拍摄装置的拍摄周期内，按拍摄顺序向拍摄到的所述多张图像附上图像编号，并对构成所述图像的多个像素的各个像素，求出多个亮度成为波峰的图像编号的第1阶段处理；以及所述拍摄装置拍摄所述多张图像后，根据由所述第1阶段处理求出的多个所述亮度成为波峰的图像编号，检测所述透明膜的膜厚或所述凹凸部的高度的第2阶段处理，所述形状检测部在所述第1阶段处理中，将在当前的拍摄周期拍摄到的图像设为图像编号i的图像f_i，i是1以上的整数，按所述图像f_i的像素，算出包含所述图像f_i的规定张数的连续图像中的亮度的平均值，并且算出表示亮度相对于所述平均值的偏差的亮度相对值，且将该亮度相对值成为阈值以上的像素设定成亮度呈现波峰的候补像素，所述图像f_i中的所述候补像素的亮度相对值比最新的所述候补像素的亮度相对值大时，将所述亮度成为波峰的候补的图像编号更新为图像编号i，当所述亮度成为波峰的候补的图像编号以阈值张数连续未进行更新时，判定所述图像编号i是所述亮度成为波峰的图像编号。