[发明专利]氧化铝基板有效
| 申请号： | 201580042856.8 | 申请日： | 2015-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN106661762B | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 山泽和人;大井户敦;川崎克己 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;C30B19/12;C30B25/18 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;伍飏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及氧化铝基板。本发明的目的在于提供一种在将AlN结晶等制作于氧化钠基板上时能够制作出更高质量的结晶那样AlN层的翘曲被减小的氧化铝基板。通过在氧化铝基板表面形成包含碳含有相的AlN层从而缓和对AlN层的应力，能够减小翘曲。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化铝 | ||
【主权项】：
1.一种氧化铝基板，其特征在于：在氧化铝基板表面上形成有AlN层，并且包含碳含有相，所述碳含有相是以(AlN)x(Al4C3)y表示的组成，在此，x以及y为不包括0的正数。
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