[发明专利]压印材料有效

专利信息
申请号: 201580042955.6 申请日: 2015-07-24
公开(公告)号: CN106575606B 公开(公告)日: 2020-03-27
发明(设计)人: 小林淳平;加藤拓;首藤圭介;铃木正睦 申请(专利权)人: 日产化学工业株式会社
主分类号: H01L21/027 分类号: H01L21/027;B29C59/02;C08F2/44;C08F2/50;C08F290/00
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 黄媛;段承恩
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供新的压印材料以及由该材料制作的转印有图案的膜。作为解决本发明课题的方法为一种压印材料,其含有下述(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)成分。(A):下述式(1)、式(2)或式(3)所示的化合物(式中,X表示碳原子数1~5的直链亚烷基,R1表示氢原子或甲基,R2、R3和R4各自独立地表示氢原子、甲基或乙基,R2、R3和R4的碳原子数的和为0~2。)(B):具有下述式(4)所示的重复单元,且具有2个以上式中Y所示的聚合性基团的倍半硅氧烷化合物(C):具有下述式(5)所示的重复单元,且末端具有2个聚合性基团的有机硅化合物(式中,R6和R7各自独立地表示碳原子数1~3的烷基,R5表示碳原子数1~3的亚烷基,k表示0~3的整数。)(D):光聚合引发剂。
搜索关键词: 压印 材料
【主权项】:
一种压印材料,其含有下述(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)成分,基于所述(A)成分、(B)成分和(C)成分的合计100质量份,所述(A)成分的含量为35质量份~90质量份,所述(B)成分的含量为5质量份~60质量份,所述(C)成分的含量为5质量份~30质量份,所述(D)成分的含量为0.1phr~30phr,(A):下述式(1)、式(2)或式(3)所示的化合物,式中,X表示碳原子数1~5的直链亚烷基,R1表示氢原子或甲基,R2、R3和R4各自独立地表示氢原子、甲基或乙基,R2、R3和R4的碳原子数的和为0~2的整数,(B):具有下述式(4)所示的重复单元,且具有2个以上式中Y所示的聚合性基团的倍半硅氧烷化合物,(C):具有下述式(5)所示的重复单元,且末端具有2个聚合性基团的有机硅化合物,式中,R6和R7各自独立地表示碳原子数1~3的烷基,R5表示碳原子数1~3的亚烷基,k表示0~3的整数,(D):光聚合引发剂。
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