[发明专利]金刚石复合体、衬底、金刚石、包括金刚石的工具、以及制造金刚石的方法有效
申请号: | 201580043048.3 | 申请日: | 2015-08-10 |
公开(公告)号: | CN106661759B | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 西林良树;辰巳夏生;角谷均 | 申请(专利权)人: | 住友电气工业株式会社 |
主分类号: | C30B29/04 | 分类号: | C30B29/04;C23C16/27 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 李兰;孙志湧 |
地址: | 日本大阪*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种能缩短分离衬底和金刚石层的分离时间的金刚石复合体、衬底和制造金刚石的方法、以及从所述金刚石复合体获得的金刚石和包括所述金刚石的工具。所述金刚石复合体包括:包括金刚石籽晶并在主表面中具有沟槽的衬底,形成在所述衬底的主表面上的金刚石层,以及在距所述衬底和所述金刚石层之间的界面恒定深度处形成在衬底侧上的非金刚石层。 | ||
搜索关键词: | 金刚石 复合体 衬底 包括 工具 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种金刚石复合体,包括:衬底,所述衬底包括金刚石籽晶并且在主表面中具有沟槽;金刚石层,所述金刚石层形成在所述衬底的所述主表面上;以及非金刚石层,所述非金刚石层在距所述衬底和所述金刚石层之间的界面的恒定深度处形成在所述衬底侧。
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