[发明专利]金属材料的处理装置有效
| 申请号： | 201580043271.8 | 申请日： | 2015-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN107148323B | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 白川直树;村田和广 | 申请（专利权）人： | 独立行政法人产业技术综合研究所 |
| 主分类号： | B22F3/10 | 分类号： | B22F3/10;B22F1/00;H01L21/288;H01B13/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 吴宗颐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及金属材料的处理装置，其具有：内部收纳样品的密闭容器，从由该密闭容器排出的气体抽出氧分子的氧泵，将该气体返回该密闭容器中的循环装置，以及处于该密闭容器内、将从该循环装置返回的该气体进行等离子体化，照射该样品的等离子体化装置。 | ||
| 搜索关键词： | 金属材料 处理 装置 | ||
【主权项】：
金属材料的处理装置，其具有：内部收纳样品的密闭容器，从由该密闭容器排出的气体抽出氧分子的氧泵，将该气体返回该密闭容器中的循环装置，和处于该密闭容器内、将从该循环装置返回的该气体进行等离子体化，照射该样品的等离子体化装置。
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