[发明专利]多晶硅棒的制造方法和多晶硅棒在审
| 申请号： | 201580043372.5 | 申请日： | 2015-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN106660809A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 宫尾秀一;祢津茂义 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;G01N23/203;G01N23/207;G01N23/225 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人： | 鲁雯雯,金龙河 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在本发明中，通过西门子法制造多晶硅棒时，在将进行多晶硅的析出反应时的反应温度设定于例如1100℃～1150℃的范围且将反应炉内控制于0.45～0.9MPa的压力范围的状态下使多晶硅析出。通过控制于这样的压力范围，可以得到在任意部位在利用EBSD法进行评价的情况下的结晶粒径的平均值为6μm以下的多晶硅棒。另外，在将压力范围控制于0.6～0.9MPa的情况下，可以得到在任意部位在利用EBSD法进行评价的情况下的结晶粒径的平均值为2μm以下的多晶硅棒。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅棒的制造方法，其是基于西门子法的多晶硅棒的制造方法，其特征在于，在将反应炉内控制于0.45～0.9MPa的压力范围的状态下，使多晶硅析出，得到在所述多晶硅棒的任意部位在利用EBSD法、即电子背散射衍射测定法进行评价的情况下的结晶粒径的平均值为6μm以下的多晶硅棒。
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