[发明专利]生产多晶硅的方法有效
| 申请号： | 201580043963.2 | 申请日： | 2015-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN106573783B | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | F·波普;H·赫特莱因 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 彭丽丹;过晓东 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种生产多晶硅的方法，其中将多晶硅沉积在通过直接通电加热的支撑体上以提供多晶硅棒，其中将所述支撑体保持在反应器的底板上并通过电极向所述支撑体供应电流，其中在所述多晶硅棒已获得期望的最终直径时，终止多晶硅的沉积，其中随后将所述多晶硅棒从所述反应器中移出，并将新的支撑体安装到所述反应器以提供另外的多晶硅棒，其中在从所述反应器移出所述多晶硅棒后且将新支撑体安装到所述反应器前，清洁所述反应器的底板，其中进行包括至少两个清洁步骤的底板清洁，其中所述至少两个清洁步骤使用至少两种处在不同物理状态的清洁介质。 | ||
| 搜索关键词： | 生产 多晶 方法 | ||
【主权项】：
1.一种生产多晶硅的方法，其中将多晶硅沉积在通过直接通电加热的支撑体上以提供多晶硅棒，其中将所述支撑体保持在反应器的底板上并通过电极向所述支撑体供应电流，其中在所述多晶硅棒已获得期望的最终直径时，终止多晶硅的沉积，其中随后将所述多晶硅棒从所述反应器中移出，并将新的支撑体安装到所述反应器以提供另外的多晶硅棒，其中在从所述反应器移出所述多晶硅棒后且将新支撑体安装到所述反应器前，清洁所述反应器的底板，其中在每个棒移出工序后抽吸所述底板，并随后使用液体或含固体的清洁介质清洁所述底板。
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