[发明专利]压电传感器以及弯曲检测传感器有效
申请号: | 201580043966.6 | 申请日: | 2015-07-24 |
公开(公告)号: | CN106575698B | 公开(公告)日: | 2020-05-01 |
发明(设计)人: | 河村秀树 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H01L41/047 | 分类号: | H01L41/047;A61B5/11;G01B7/28;G01L1/16;H01L41/113;H01L41/193 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艳君;李洋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明涉及压电元件以及弯曲检测传感器,提供使静电电容增大化的、以电极夹持在一部分包含压电性树脂的薄膜的压电元件。压电部(23)通过在传感器元件(10)中利用信号电极(2)以及基准电位电极(5)夹持薄膜(3)来实现。电容器(24)通过利用信号电极(2)以及基准电位电极(4)夹持介电薄膜(1)来实现。电容器(24)与压电部(23)电并联连接。由此,传感器元件(10)与仅由压电部(23)构成的构成相比,能够使作为元件整体的静电电容增大化至静电电容C |
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搜索关键词: | 压电 传感器 以及 弯曲 检测 | ||
【主权项】:
一种压电元件,其中,在层叠方向上依次配置第一基准电位电极、在一部分包含压电性树脂的薄膜、信号电极、具有绝缘性的介电薄膜以及与上述第一基准电位电极电连接的第二基准电位电极,通过由上述第二基准电位电极和上述信号电极夹持上述介电薄膜而形成的静电电容比通过由上述第一基准电位电极和上述信号电极夹持上述薄膜而形成的静电电容大。
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