[发明专利]为了结构物的均匀沉积而产生扭转角的夹具系统

摘要

本发明的目的为解决在将要涂覆的基材的形状复杂的情况下，产生涂覆死角地带的问题。据此，本发明提供一种夹具系统，其特征在于，被驱动成使基材进行自转、公转以及赋予扭转角度的二次扭转自转，从而最小化涂覆死角地带。并且，本发明提供一种使基材同时进行上下运动而消除涂覆死角地带的夹具系统。尤其，本发明能够将夹具以如下方式驱动，对研磨工具和钻具等具有形成螺旋角的形状的基材进行与基材的扭转角度同步的扭转自转。

主权项

1.一种夹具系统，用于固定基材，以在腔室内涂覆基材，包括：公转轴；一个以上的自转轴，连接于所述公转轴而进行公转，且能够进行独立的自转；一个以上的锥齿轮，安装于所述自转轴上，用于扭转自转；驱动单元，用于公转、自转及扭转自转，所述基材固定于所述锥齿轮的移动侧的齿轮部件，所述夹具系统使所述基材在涂覆工序中进行公转、自转及扭转自转。