[发明专利]使用在线纳米探测的贯穿工艺流程的芯片内和芯片间的电分析和过程控制有效
| 申请号： | 201580044320.X | 申请日： | 2015-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN107004554B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | V·乌克兰采夫;I·尼夫;R·本蔡恩 | 申请（专利权）人： | FEI埃法有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01L21/66;G01R1/06;G01R31/307;G01R31/28 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;王英 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于在半导体晶圆上执行在线纳米探测的系统。晶圆支架或垂直晶圆定位器附接到晶圆台。SEM柱、光学显微器和多个纳米探针定位器都附接到顶板。纳米探针定位器具有被配置为物理接触晶圆上所选择的点的一个纳米探针。当探针物理接触晶圆时，力(或触摸)传感器测量由探针施加到晶圆的接触力(或力矩)。多个漂移传感器被提供用于在测量期间实时计算探针相对于晶圆的对准漂移。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 在线 纳米 探测 贯穿 工艺流程 芯片 分析 过程 控制 | ||
【主权项】：
1.一种用于在半导体晶圆上执行在线纳米探测的系统，包括：真空腔室，其具有底板、侧壁和顶板；导航台，其具有行进部分和静止部分以及轴承，在启用所述轴承时实现了所述行进部分与所述静止部分之间的相对运动；晶圆支架，其附接到所述导航台的所述行进部分；SEM柱，其附接到所述顶板；以及多个纳米探针定位器，其附接到所述顶板，每个纳米探针定位器具有被配置为物理接触所述晶圆上所选择的点的纳米探针，所述纳米探针定位器中的每个纳米探针定位器附接到与所述SEM柱接近的所述顶板，以便于使所述纳米探针定位器能够将其纳米探针插入到所述SEM柱的视场中。
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