[发明专利]用于薄膜部件的金属镀层，其制造方法和溅镀靶有效
| 申请号： | 201580044609.1 | 申请日： | 2015-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN106574324B | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 哈拉尔德·科斯滕鲍尔;朱迪思·科斯滕鲍尔;格哈德·莱希特弗雷德;约尔格·温克勒;黄茂成;马丁·卡特赖因;伊丽莎白·艾登伯格 | 申请（专利权）人： | 攀时奥地利公司 |
| 主分类号： | C22C1/04 | 分类号： | C22C1/04;C23C14/34;C23C24/04;H01L23/532 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;张杰 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于薄膜部件的金属镀层以及用于制造金属镀层的方法。本发明此外涉及一种含Al以及Ti和常见杂质的由Mo基合金组成的溅镀靶以及一种用于制造由Mo基合金组成的溅镀靶的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 薄膜 部件 金属 镀层 制造 方法 溅镀靶 | ||
【主权项】：
1.一种用于薄膜部件的金属镀层，其特征在于，所述金属镀层包含至少一个由Mo基合金组成的层，所述层含有Al及Ti和常见杂质，并且所述至少一个由Mo基合金组成的层含有10原子％至40原子％的Al及大于0至15原子％的Ti、余量Mo和常见杂质，其中Al及Ti的含量总和不超过50原子％。
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