[发明专利]电容式传感器有效
| 申请号： | 201580044629.9 | 申请日： | 2015-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN106796192B | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 希尔科·苏伊;佐兰·日夫科维奇;弗朗西斯库斯·彼得鲁斯·威德斯霍芬;内博伊沙·内纳多维奇 | 申请（专利权）人： | ams国际有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李春晖;陈炜 |
| 地址： | 瑞士拉*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 一种电容式环境传感器和一种利用差分电容测量来确定目标物质(例如水)的存在的方法。传感器包括具有表面的半导体衬底。传感器还包括位于表面上的多个传感器电极。电极在表面上通过中间间隔横向地分隔开。所述传感器还包括覆盖电极的传感器层。所述传感器层具有对目标物质的存在敏感的介电常数。衬底的表面在使至少一对电极分隔开的间隔中包括凹槽。衬底的表面在使至少一对电极分隔开的间隔中不包括凹槽。传感器可以设置在射频识别(RFID)标签中。传感器可以设置在智能建筑物中。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种电容式环境传感器，包括：具有表面的半导体衬底；以单层电极形式的位于所述表面上的多个传感器电极，其中，每对相邻电极在所述表面上通过相应的中间间隔横向地分隔开；以及覆盖所述电极的传感器层，其中，所述传感器层具有对目标物质的存在敏感的介电常数，其中，所述衬底的所述表面在使至少一对电极分隔开的所述相应的中间间隔中包括凹槽，其中，所述衬底的所述表面在使至少其他一对电极分隔开的所述间隔中不包括凹槽；并且其中：所述电极包括布置在所述衬底上的多个单独的电极组，每个电极组具有用于在每个电极组之间进行差分电容测量的不同的电气构造；或者所述电极能够在用于进行差分电容测量的多个不同的电气构造之间切换。
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