[发明专利]用于在基板上沉积原子层的方法和装置

摘要

一种在基板上沉积原子层的方法，包括从包含于鼓轮中的前体气体供应器供应前体气体；鼓轮相对于从气体源接收气体的密封件旋转。鼓轮或密封件中的一个包括一个或多个气体气体进料通道，该气体进料通道与前体气体供应器流体连通，以及鼓轮或密封件中的另一个在其表面包括一个或多个环周沟槽，该表面由该鼓轮或密封件中的一个密封，从而防止沿径向方向的流体流动路径，且留下沿环周方向的流体流动路径。至少一个密封沟槽设置有一个或多个分隔件来分离在密封沟槽中的制程气体进料的邻近区域，从而使得区域提供互不相同的制程气体组成，以使前体气体在基板附近，例如基板上反应，从而沉积出梯度组成的原子层堆叠。

主权项

一种在基板上沉积原子层的方法，所述方法包括：‑从包含于鼓轮中的前体气体供应器供应前体气体；所述鼓轮相对于从气体源接收气体的密封件是可旋转的；所述鼓轮或所述密封件中的一个包括一个或多个气体气体进料通道，所述气体进料通道与所述前体气体供应器流体连通；‑所述鼓轮或所述密封件中的另一个在其表面内包括一个或多个环周沟槽，所述表面由所述鼓轮或所述密封件中的一个密封，从而防止沿径向方向的流体流动路径，并且留下沿环周方向的流体流动路径；‑在从所述前体气体供应器向所述基板供应所述前体气体期间，所述气体进料通道邻接密封沟槽，其中，气体流动路径的一部分由所述密封沟槽形成；‑其中至少一个密封沟槽设置有一个或多个分隔件，使得所述密封沟槽中的制程气体进料的邻近区域相分离，因此使得各区域提供互不相同的制程气体组成；及‑使所述前体气体在基板附近、例如基板上反应，以通过沿旋转轨迹旋转所述鼓轮且同时供应所述前体气体来形成原子层；从而沉积出梯度组成的原子层堆叠。