[发明专利]使用两步温度处理来制造薄膜铁电装置的方法

摘要

描述了用于制造铁电装置的方法。一种方法包括将有机聚合物铁电层定位在两种导电材料之间以形成堆叠。该堆叠可以经受两步热处理过程。第一热处理步骤将有机聚合物铁电前体转变为具有铁电电滞特性的铁电材料，并且第二热处理步骤使铁电材料致密化以获得铁电装置。薄膜铁电装置可以包括薄膜铁电电容器、薄膜铁电晶体管或薄膜铁电二极管。

主权项

1.一种用于制造薄膜铁电装置的方法，所述方法包括：(a)将有机聚合物铁电前体材料沉积到第一导电材料上，使得所述有机聚合物铁电前体材料具有第一表面和相对的第二表面，其中所述有机聚合物铁电前体材料的第一表面与所述第一导电材料接触；(b)在所述有机聚合物铁电前体材料的第二表面上沉积第二导电材料以形成堆叠，其中，所述有机聚合物铁电前体材料被至少部分地定位在所述第一导电材料和第二导电材料之间；(c)使所述堆叠经受高于所述有机聚合物铁电前体材料的熔融温度的第一温度1至60分钟，以形成具有铁电电滞特性的有机聚合物铁电材料；并且(d)使所述堆叠经受低于所述有机聚合物铁电前体材料的熔融温度的第二温度10至70分钟，以使所述有机聚合物铁电材料致密化并获得薄膜铁电装置。