[发明专利]用于垂直结构的半节点缩放有效
| 申请号： | 201580046461.5 | 申请日： | 2015-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN106796393B | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | S·S·宋;K·利姆;J·J·徐;M·M·诺瓦克;C·F·耶普;R·陈 | 申请（专利权）人： | 高通股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H01L21/8234;H01L27/02;H01L27/088 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 周敏;陈炜 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本公开的一方面的一种用于对电路布局进行半节点缩放的方法包括管芯上的垂直器件。该方法包括减小管芯上的垂直器件的鳍节距和栅极节距。该方法还包括缩放用于定义电路布局的至少一个减小面积的几何图案的波长。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 垂直 结构 节点 缩放 | ||
【主权项】：
一种用于对包括管芯上的多个垂直器件的电路布局进行半节点缩放的方法，包括：减小所述管芯上的所述多个垂直器件的鳍节距和栅极节距；以及缩放用于定义所述电路布局的至少一个减小面积的几何图案的波长。
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