[发明专利]微型微机械超声波测距仪在审
| 申请号： | 201580046943.0 | 申请日： | 2015-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN107431122A | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | D.霍斯利;A.格德斯;M-H.江;R.普里比拉;S.谢尔顿 | 申请（专利权）人： | 啁啾微系统公司 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 吕晓章 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种微型测距仪，包括壳体、微机械超声波换能器和信号处理电路。壳体包括基板和盖。壳体具有一个或多个孔，并且微机械超声波换能器安装在孔上。微机械超声波换能器可以用作发送器和接收器二者。集成电路被配置为驱动换能器以发送声学信号，检测返回信号，并且确定发出声学信号与检测到返回信号之间的飞行时间。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 微机 超声波 测距仪 | ||
【主权项】：
一种声学测距装置，包括：基板；安装到所述基板的盖；在所述基板或盖上的微机械超声波换能器(MUT)，其中所述MUT包括可致动隔膜；在所述基板上可操作地耦合到所述MUT的集成电路(IC)，其中所述盖包围所述MUT和所述IC，其中所述盖或基板包括声孔；其中所述盖或基板包括将所述IC连接到外部基板的多个电互连；其中所述IC被配置为驱动所述隔膜以发送声学信号并检测返回信号，并且其中所述IC被配置为确定在发出所述声学信号与检测到所述返回信号之间的飞行时间。
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