[发明专利]防护膜组件、其制造方法及曝光方法

摘要

本发明提供远紫外光光刻用的防护膜组件、其制造方法以及曝光方法。本发明涉及的防护膜组件具备：第1框体，该第1框体配置有防护膜；第2框体，该第2框体具有厚部和第2面，并将上述防护膜和上述第1框体从外侧包围，所述厚部包含第1面，所述第1面承接与上述第1框体的配置有上述防护膜的面相反侧的面，所述第2面与上述第1面连接并承接上述第1框体的侧面；贯通孔，该贯通孔配置在上述第2框体的上述厚部；以及过滤器，该过滤器配置在与配置有上述防护膜的上述第1框体的面交叉的上述第2框体的外侧的侧面，并覆盖上述贯通孔。

主权项

一种防护膜组件，其特征在于，具备：第1框体，所述第1框体配置有防护膜；第2框体，所述第2框体具有厚部和第2面，并将上述防护膜和上述第1框体从外侧包围，所述厚部包含第1面，所述第1面承接与所述第1框体的配置有所述防护膜的面相反侧的面，所述第2面与所述第1面连接并承接所述第1框体的侧面；贯通孔，所述贯通孔配置在所述第2框体的所述厚部；以及过滤器，所述过滤器配置在与配置有所述防护膜的所述第1框体的面交叉的所述第2框体的外侧的侧面，并覆盖所述贯通孔。