[发明专利]终点检测方法、研磨装置及研磨方法有效
| 申请号： | 201580047764.9 | 申请日： | 2015-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN106604802B | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 高桥太郎;铃木佑多 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/013 | 分类号： | B24B37/013;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明使研磨终点检测的精度提高。本发明的终点检测方法依据供给至驱动部(第一电动马达或第二电动马达)的驱动电流来检测终点，该驱动部用于旋转驱动用于保持研磨垫的研磨台、或用于保持研磨对象物并将保持研磨对象物向研磨垫按压的保持部(顶环)。该终点检测方法具备：判定所执行的研磨处理的研磨条件是否与预设的特定的研磨条件一致的步骤(S102)；判定为研磨条件与特定的研磨条件一致时，调整用于控制驱动电流的驱动控制部(马达驱动器)的电流控制参数的步骤(S103)，该电流控制参数与驱动电流的对应于驱动部的驱动负荷的变化而产生的变化相关；及对依据调整后的电流控制参数供给至驱动部的驱动电流进行检测，并依据检测出的驱动电流来检测研磨的终点的步骤(S105)。 | ||
| 搜索关键词： | 终点 检测 方法 研磨 装置 | ||
【主权项】：
1.一种终点检测方法，是依据向驱动部供给的驱动电流来进行的终点检测方法，该驱动部用于旋转驱动用于保持研磨垫的研磨台、或用于保持研磨对象物并将该研磨对象物向研磨垫按压的保持部，该终点检测方法的特征在于，具备：第一判定步骤，该第一判定步骤判定所执行的研磨处理的研磨条件是否与预设的特定的研磨条件一致；调整步骤，该调整步骤在通过所述第一判定步骤判定为所述研磨条件与所述特定的研磨条件一致时，调整用于控制所述驱动电流的驱动控制部中的电流控制参数，该电流控制参数与所述驱动电流的对应于所述驱动部的驱动负荷的变化而产生的变化相关；检测步骤，该检测步骤依据通过所述调整步骤调整后的电流控制参数，对向所述驱动部供给的驱动电流进行检测；及终点检测步骤，该终点检测步骤依据通过所述检测步骤检测出的驱动电流，来检测研磨终点。
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