[发明专利]使用光谱分析的干涉式编码器有效
| 申请号： | 201580047935.8 | 申请日： | 2015-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN106796098B | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | L.L.德克;J.利塞纳 | 申请（专利权）人： | 齐戈股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01D5/26 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈钘;张邦帅 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 确定关于编码器标尺的刚体运动的自由度的信息包括：将第一光束朝向编码器标尺引导，其中第一光束从编码器标尺衍射；将第一光束的衍射分量与第二光束组合以形成干涉输出光束；监控输出光束的变化，其作为第一和第二光束的波长的函数；以及基于作为波长的函数的输出光束的变化来确定关于编码器标尺的刚体运动的自由度的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 光谱分析 干涉 编码器 | ||
【主权项】：
一种用于确定与编码器标尺的刚体运动的自由度的信息有关的方法，所述方法包括：沿着不同路径引导第一光束和第二光束，其中所述第一光束从编码器标尺衍射；将所述第一光束的衍射分量与所述第二光束组合，以形成干涉输出光束；监控作为第一和第二光束的波长的函数的输出光束中的干涉；以及基于作为波长的函数的输出光束的变化来确定与所述编码器标尺的刚体运动的自由度有关的信息。
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