[发明专利]磁盘用基板的制造方法有效
| 申请号： | 201580048163.X | 申请日： | 2015-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN106716530B | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 俵义浩 | 申请（专利权）人： | HOYA株式会社 |
| 主分类号： | G11B5/84 | 分类号： | G11B5/84;C03C19/00;C03C23/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 磁盘用基板的制造方法包括下述研磨处理，即，用一对研磨垫夹持圆盘状的基板，向研磨垫与基板之间供给包含研磨磨粒的浆料，使研磨垫与基板相对滑动，由此对基板的主表面进行研磨。浆料中包含的研磨磨粒和粒径大于研磨磨粒的平均粒径的板状物质在表面电荷的量方面存在差异，在进行研磨处理前，进行下述吸附处理，即，将至少被板状物质吸附、且具有符号与板状物质的表面电荷不同的表面电荷的固体的吸附材料混合至浆料中，由此使吸附材料吸附于浆料中的板状物质。 | ||
| 搜索关键词： | 磁盘 用基板 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种磁盘用基板的制造方法，该磁盘用基板的制造方法包括下述研磨处理，即，用一对研磨垫夹持圆盘状的基板，向所述研磨垫与所述基板之间供给包含研磨磨粒的浆料，使所述研磨垫与所述基板相对滑动，由此对所述基板的主表面进行研磨，所述磁盘用基板的制造方法的特征在于，所述浆料中包含的所述研磨磨粒和粒径大于所述研磨磨粒的平均粒径的板状物质在表面电荷的量方面存在差异，在进行所述研磨处理前，进行下述吸附处理，即，将至少被所述板状物质吸附、且具有符号与所述板状物质的表面电荷不同的表面电荷的固体的吸附材料混合至所述浆料中，由此使吸附材料吸附于所述浆料中的板状物质。
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