[发明专利]压电元件及其制造方法

摘要

本发明涉及一种压电元件及其制造方法。本发明尤其涉及获得以简单的构成便能够将安装端子形成于所需位置的低成本的压电元件。本发明的压电元件包括：引出配线(3)，连接于形成在压电基板(1)的主表面的梳齿电极(2)且沿压电基板(1)的外缘延伸设置；外围壁层(6)，环绕包含引出配线的压电基板的外周而设置且形成作为梳齿电极的动作空间的中空部；以及顶板(7)，桥接于外围壁层而将中空部密封。

主权项

1.一种压电元件，其特征在于，包括：压电基板；梳齿电极，形成于所述压电基板的主表面；引出配线，连接于所述梳齿电极而沿所述压电基板的外缘延伸设置；外围壁层，环绕包含所述引出配线的所述压电基板的外周而设置，形成作为所述梳齿电极的动作空间的中空部；以及顶板，桥接于所述外围壁层而将所述中空部密封，所述顶板包含混入无机材料的填料而提高了机械强度的耐热性树脂，所述引出配线分别形成于所述外围壁层的相向的一对侧面侧，跨及所述外围壁层的相向的一对侧面、所述顶板的与所述外围壁层的相向的一对侧面连接的上表面、及与所述外围壁层的相向的一对侧面连接的所述压电基板的所述外缘，而在多个区块形成着绝缘的金属镀敷层，所述金属镀敷层在所述压电基板的所述外缘与所述引出配线电气连接，将所述金属镀敷层的所述顶板的上表面作为安装端子，将所述金属镀敷层的所述外围壁层的侧面作为连接所述引出配线与所述安装端子的侧面配线，在所述外围壁层的相向的一对侧面及所述顶板的与所述外围壁层的相向的一对侧面连接的侧面，具有从所述顶板到所述外围壁层逐渐平缓地弯曲的倾斜面。