[发明专利]光照射装置和光照射方法有效
申请号: | 201580048521.7 | 申请日: | 2015-08-26 |
公开(公告)号: | CN106687852B | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 泷口优 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G02F1/01 | 分类号: | G02F1/01;B23K26/064;B23K26/073;G02F1/13 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 光照射装置(1A)具有光源(10)、分散元件(20)、空间光调制器(30)和聚光元件(50)。分散元件(20)将从光源(10)输出的脉冲光分散并输出。分散元件(20)例如包括棱镜(21、22)。空间光调制器(30)对从分散元件(20)输出的光的相位谱或强度谱进行调制并输出。聚光元件(50)以分散的状态接收从空间光调制器(30)输出的光,并聚光于对象物(9)的表面或内部的共同的区域(聚光区域)内。由此,实现了聚光区域中的脉冲光的时间波形的调整的自由度高且能够容易地实现所希望的时间波形的光照射装置。 | ||
搜索关键词: | 照射 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种光照射装置,其特征在于,具有:输出脉冲光的光源;将所述脉冲光分散的分散元件;对所述分散的光的相位谱或强度谱进行调制的空间光调制器;和以分散的状态接收由所述空间光调制器调制的光并聚光于聚光区域的聚光元件。
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