[发明专利]使用化学气相沉积或液相外延来形成铁氮化物硬磁性材料在审
| 申请号： | 201580049388.7 | 申请日： | 2015-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN107075674A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 王建平;姜岩峰 | 申请（专利权）人： | 明尼苏达大学董事会 |
| 主分类号： | C23C16/34 | 分类号： | C23C16/34;C23C16/448;C23C16/56 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 张英,宫传芝 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开描述了包括α″‑Fe16N2的硬磁性材料以及用于使用化学气相沉积或液相外延来形成包括α″‑Fe16N2的硬磁性材料的技术。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 化学 沉积 外延 形成 氮化物 磁性材料 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：加热铁源以形成包含含铁化合物的蒸汽；在基底上由包含所述含铁化合物的蒸汽沉积铁和由包含含氮化合物的蒸汽沉积氮，以形成包含铁和氮的层；以及退火所述包含铁和氮的层以形成至少一些包含α″‑Fe16N2的晶体。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
