[发明专利]具有容器结构单元的立体光刻设备

摘要

本发明涉及一种立体光刻设备，其包括：用于容纳能通过照射硬化的液态的材料的容器(40)、基底盘(60)、用于在容器与基底盘(60)之间产生相对运动的促动器装置和用于选择性地照射容器中的材料的照射设备(20)。按照本发明，促动器装置和照射设备(20)固定在框架设备(10)上，并且容器和基底盘(60)组合为一个结构单元，并且由容器和基底盘(60)组成的结构单元共同装入框架设备(10)中，在其中借助固定设备可拆卸地固定并且共同从框架设备中移除。

主权项

一种立体光刻设备，包括：‑用于容纳能通过照射硬化的液态的材料的容器，‑基底盘，‑用于在容器与基底盘之间产生相对运动的促动器装置，‑用于选择性地照射容器中的材料的照射设备，所述照射设备包括·射线源，和·成像的掩蔽装置‑用于控制照射设备的控制装置，其特征在于，促动器装置和照射设备固定在框架设备上，并且容器和基底盘组合为一个结构单元，并且由容器和基底盘组成的结构单元共同装入框架设备中，在其中借助固定设备可拆卸地固定并且能够共同从框架设备中移除。