[发明专利]电子束诱导等离子体（eBIP）在检验、测试、调试及表面改质中的应用在审
| 申请号： | 201580050090.8 | 申请日： | 2015-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN107079572A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 尼德尔·萨利赫;恩里克·斯特林;丹尼尔·托伊特;阿里·格雷泽;罗恩·勒温格;斯里拉姆·克里什娜斯瓦米 | 申请（专利权）人： | 奥宝科技股份有限公司;烽腾科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司11409 | 代理人： | 章社杲,李伟 |
| 地址： | 以色列雅弗*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 利用电子束诱导等离子体来与所关注装置建立非机械电接触。此种等离子体源可被称为大气等离子体源且可用以提供具有极细直径及可控特性的等离子体柱。所述等离子体柱横穿通入大气中的等离子体源与所关注装置之间的大气空间，且用作通向所关注装置的电路径，以便可从装置收集特性电信号。另外，通过控制流动至所述等离子体柱中的气体，可使用所述探测体来进行表面改质、蚀刻及沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 诱导 等离子体 ebip 检验 测试 调试 表面 中的 应用 | ||
【主权项】：
一种大气等离子体设备，包括：真空围封罩，在其第一侧处具有孔口；电子源，定位于所述真空围封罩内部且具有电子提取开口；提取器，定位于所述提取开口附近且用以从所述电子源提取电子，以形成电子束并引导所述电子束穿过所述孔口，其中所述电子束被配置成具有比所述孔口的直径小的直径；孔径板，被定位成覆盖所述孔口，所述孔径板是导电的且其上附装有导线，且其中所述孔径板具有直径比所述电子束的所述直径小的孔径，使得所述孔径板在所述电子束穿过所述孔径时减小所述电子束的所述直径；以及其中所述电子束用以在其离开所述孔径时将大气电离，以维持等离子体柱。
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