[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、固化物、半导体装置、抗蚀图案的形成方法及电路基材的制造方法有效
| 申请号： | 201580050226.5 | 申请日： | 2015-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN106687864B | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 加藤哲也;岩下健一;中村彰宏;中野昭夫;小野裕 | 申请（专利权）人： | 日立化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038;H05K3/18 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 白丽;陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的感光性树脂组合物含有：具有酚性羟基的树脂；光敏性产酸剂；具有选自芳香环、杂环及脂环中的至少1种以及选自羟甲基及烷氧基烷基中的至少1种的化合物；以及具有2个以上的选自丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基、缩水甘油基氧基、氧杂环丁烷基烷基醚基、乙烯基醚基及羟基中的至少1种官能团的脂肪族化合物，所述光敏性产酸剂是含有具有选自四苯基硼酸盐骨架、碳数为1～20的烷基磺酸盐骨架、苯基磺酸盐骨架及10‑樟脑磺酸盐骨架中的至少1种骨架的阴离子的锍盐。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 元件 固化 半导体 装置 图案 形成 方法 电路 基材 制造 | ||
【主权项】：
一种感光性树脂组合物，其含有：(A)成分：具有酚性羟基的树脂；(B)成分：光敏性产酸剂；(C)成分：具有选自芳香环、杂环及脂环中的至少1种以及选自羟甲基及烷氧基烷基中的至少1种的化合物；以及(D)成分：具有2个以上的选自丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基、缩水甘油基氧基、氧杂环丁烷基烷基醚基、乙烯基醚基及羟基中的至少1种官能团的脂肪族化合物，所述(B)成分是含有具有选自四苯基硼酸盐骨架、碳数为1～20的烷基磺酸盐骨架、苯基磺酸盐骨架及10‑樟脑磺酸盐骨架中的至少1种骨架的阴离子的锍盐。
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