[发明专利]气体溶解水制造装置及制造方法在审
| 申请号： | 201580050402.5 | 申请日： | 2015-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN106714954A | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 小泽卓;原田稔;高桥宗人 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B01F15/02 | 分类号： | B01F15/02;B01F1/00;B01F3/04;B01F5/04;B01F15/04;C01B13/10;C01B13/11;C02F1/78;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的臭氧水制造装置(1)具备流量控制器(4、5)，控制作为原料的气体的流量；流量计(12)，测定作为原料的水的流量；升压泵(13)，控制水的压力；臭氧水生成部(8)，将臭氧气体与水进行混合而生成臭氧水；以及压力传感器(17)，测定供给至使用点(19)的臭氧水的压力。升压泵(13)控制水的压力，使由压力传感器(17)测定的臭氧水的压力成为恒定，流量控制器(4、5)根据由流量计(12)测定的水的流量来控制气体的流量。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 溶解 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种气体溶解水制造装置，其特征在于，具备：气体流量控制部，该气体流量控制部控制作为原料的气体的流量；水流量测定部，该水流量测定部测定作为原料的水的流量；水压力控制部，该水压力控制部控制所述水的压力；气体溶解水生成部，该气体溶解水生成部将所述气体与所述水进行混合而生成气体溶解水；以及压力测定部，该压力测定部测定供给至使用点的所述气体溶解水的压力，所述水压力控制部控制所述水的压力，以使由所述压力测定部测定的所述气体溶解水的压力成为恒定，所述气体流量控制部根据由所述水流量测定部测定的所述水的流量来控制所述气体的流量。
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