[发明专利]具有声光调制器的调QCO2激光材料加工系统

摘要

本发明的主题是调Q CO2激光材料加工系统，其具有声光调制器（AOM），所述声光调制器被使用，一方面在谐振器内部中用于对CO2激光器调Q，并且另一方面在外部用于非常高效地抑制激光器和工件之间的辐射反馈。在此核心思想是，在活性介质中的辐射增强方面下有针对性地考虑在AOM处衍射的辐射的频移，所述频移刚好对应于在AOM晶体中声波的激励频率。因为所述频移显著地减小辐射增强，所以所述频移必须在调Q过程中被避免，这按照本发明借助于由两个AOM组成的串联进行，所述AOM具有声波在晶体中相同的激励频率、但是相反的运行方向。与此不同，当按照本发明在激光器输出端和工件之间布置AOM时，频移有利地在抑制激光器和工件之间的辐射反馈的情况下发生作用，其中所述AOM具有声波的至少如此高的激励频率，使得当使用在AOM处衍射的射束作为工作射束时，返回激光器中的波实际上不被活性介质增强。

主权项

调Q CO2激光系统、尤其CO2激光材料加工系统，具有用于射束成形的声光调制器（AOM），其特征在于，a）为了调Q，两个相继地和优选地靠近谐振器端面反射镜（46）或者激光输出耦合板（4）布置的AOM（2、3）附有以下说明地被布置，即进入到第一AOM（2）上的一个射线束（8）被衍射，由此得出的经衍射的射线束（9）在第二AOM（3）处再次被衍射，并且所述由两次衍射而得出的束（10）在谐振器端面反射镜（46）或激光输出耦合板（4）处反射之后自身被反折，并且作为束（11）、（12）和（13）在所述两个AOM（2）和（3）处分别再次衍射之后被反馈到活性介质（1）中，并且因此当相应的开关电压被施加到所述两个AOM（2）和（3）上时，激光器功能被实现，并且在关断所述电压时，所述激光器功能被中断，其中所述AOM（2、3）通过声波在晶体中相同的激励频率和相反的传播方向来表征，和b）如此产生的和借助于输出耦合元件（4、30）输出耦合的激光射束（16）在优选地用于激光材料加工的其应用之前，通过第三AOM（5）被发送，所述第三AOM（5）布置在谐振器之外并且优选地紧接在输出耦合元件（4、30）之后布置，其中为了应用，使用借助于相应的开关电压在所述第三AOM（5）处衍射的射束（17），并且所述声波在所述第三AOM（5）的晶体中的所述激励频率至少处于所述活性介质（1）的增益分布图的频率半值宽度的数量级中、优选地处于40和100 MHz之间。