[发明专利]带电粒子光学器件与真空室变形的隔离有效
| 申请号： | 201580050950.8 | 申请日： | 2015-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN106716594B | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | G·佩雷尔曼 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/26 | 分类号： | H01J49/26;H01J49/10;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京坤瑞律师事务所 11494 | 代理人： | 封新琴 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种带电粒子处理设备，包括：真空室；光学器件板；安装到所述光学器件板的带电粒子光学器件；联接在所述光学器件板和室壁之间的安装构件。所述安装构件被构造用于将所述光学器件板从所述室壁的变形隔离，所述变形由于所述室的内部与所述室外部的环境之间的压差而可能发生。所述隔离可以阻止变形影响到所述带电粒子光学器件的对准和定位。所述带电粒子可以例如是离子或者电子。由此，所述设备可以例如用在质谱分析法等的分析仪器中或者电子显微镜检查等的检验仪器中。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 光学 器件 真空 变形 隔离 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子处理设备，包括：真空室，所述真空室包括室壁；光学器件板；带电粒子光学器件，所述带电粒子光学器件安装到所述光学器件板；多个安装构件，所述安装构件联接在所述光学器件板和所述室壁之间，其中，所述安装构件被构造用于相互协作地约束所述光学器件板的6个自由度，所述安装构件中的至少一个能够响应于所述室壁的变形在至少一个方向上移动或者挠曲。
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