[发明专利]定向超声波气体泄漏检测器

摘要

一种定向超声波气体泄漏检测器的实施例包括间隔开的MEMS麦克风阵列，每个麦克风响应于来自气体泄漏源的入射空中超声波能量以生成麦克风信号。波束成形处理器响应于来自该阵列的麦克风信号，以生成处理器输出信号，该处理器输出信号指示入射在该阵列上的超声波能量的估计到达角。该阵列可以设置在防爆外壳结构中以在危险场所操作，或者被实施为本征安全设备。在另一实施例中，显示器响应于处理器输出信号以生成表示被监视的场景的图像，其中波束方向上的入射能量的估计幅值叠加在该图像上。

主权项

一种定向超声波气体泄漏检测器，包括：电路，包括间隔开的MEMS麦克风阵列，每个所述麦克风响应于来自气体泄漏源的入射空中超声波能量以生成麦克风信号，所述气体泄漏源设置在所述阵列的范围内；和波束成形处理器，响应于来自所述MEMS麦克风阵列的所述麦克风信号，以生成处理器输出信号，所述处理器输出信号指示在所述阵列的范围内从所述气体泄漏源入射在所述阵列上的超声波能量的估计到达角。