[发明专利]压力变化测定装置、高度测定装置和压力变化测定方法

摘要

本发明提供能够高精度地检测测定对象的压力相对于时间轴的变化的压力变化测定装置和压力变化测定方法。具体而言，压力变化测定装置(1)所具有的基准值设定部(60)根据规定状态下的差压计测用悬臂(4)的输出信号，生成基准值信号并进行输出。运算处理部(30)根据该输出信号、该基准值信号、腔室(10)的容积、在腔室(10)内外流通的压力传递介质的规定时间单位的流通量等，计算测定对象压力的压力变化。

主权项

1.一种压力变化测定装置，其对测定对象压力的变化进行测定，其特征在于，所述压力变化测定装置具有：差压传感器，其具有供传递所述测定对象压力的压力传递介质流入的腔室和使所述压力传递介质在所述腔室内外流通的连通孔，输出包含与所述腔室的内部压力和所述测定对象压力的差压有关的信息的输出信号；运算处理部，其计算所述测定对象压力的变化；以及基准值设定部，其根据在所述差压处于规定的范围内的规定状态下的所述差压传感器的输出信号，设定表示该输出信号的基准值的基准值信号，所述运算处理部具有：差压计算部，其根据所述输出信号和所述基准值信号，计算所述腔室的内部压力和所述测定对象压力的差压；测定对象压力计算部，其根据所述腔室的内部压力的预先设定的设定值和由所述差压计算部计算出的差压，计算所述测定对象压力；流量计算部，其根据由所述差压计算部计算出的差压，计算在所述腔室内外流通的压力传递介质的规定时间的流通量；以及内压更新部，其根据由所述流量计算部计算出的所述流通量和所述腔室的容积，计算规定时间后的所述腔室的内部压力，利用该计算出的内部压力对所述测定对象压力计算部中使用的所述腔室的内部压力的所述设定值进行更新。