[发明专利]研磨用组合物及使用其的研磨方法有效
| 申请号： | 201580053307.0 | 申请日： | 2015-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN107075346B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 吉崎幸信 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能充分抑制研磨工序中的凹陷现象、更可靠地消除高度差的研磨用组合物。本发明为一种研磨用组合物，其含有表面固定有有机酸的二氧化硅和含聚氧亚烷基化合物，前述含聚氧亚烷基化合物的通过凝胶渗透色谱法(GPC)得到的重均分子量(聚乙二醇换算)的分子量分布具有2个以上的峰，所述研磨用组合物的pH为7以下。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 使用 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨用组合物，其含有表面固定有有机酸的二氧化硅和含聚氧亚烷基化合物，所述含聚氧亚烷基化合物的通过凝胶渗透色谱法(GPC)得到的重均分子量(聚乙二醇换算)的分子量分布具有2个以上的峰，所述研磨用组合物的pH为7以下。
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