[发明专利]光轴方向扫描型显微镜装置在审

专利信息
申请号: 201580053458.6 申请日: 2015-10-02
公开(公告)号: CN107076974A 公开(公告)日: 2017-08-18
发明(设计)人: 福山宏也 申请(专利权)人: 奥林巴斯株式会社
主分类号: G02B21/00 分类号: G02B21/00;G02B13/00;G02B21/06;G02B21/36
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司11127 代理人: 李辉,于靖帅
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 以即使中间像在与光学元件一致的位置上成像,也防止光学元件的伤、异物以及缺陷等与中间像重叠从而获取鲜明的最终像为目的,本发明的光轴方向扫描型显微镜装置(10)具有光源(11);照明光学系统(12),其将来自光源(11)的照明光照射到观察对象物(A);成像光学系统(13),其对来自观察对象物(A)的光进行聚光;以及摄像元件(光检测器)(14),其对被该成像光学系统(13)聚光后的光进行拍摄而获取图像。该光轴方向扫描型显微镜装置(10)具有多个成像透镜(2、3),它们形成最终像(I)和至少一个中间像(II);第一相位调制元件(5),其配置于比通过该成像透镜(2、3)形成的任意的中间像(II)靠物体(O)侧的位置,对来自物体(O)的光的波面施加空间干扰;以及第二相位调制元件(6),其配置于与该第一相位调制元件(5)之间夹着至少一个中间像(II)的位置,消除由第一相位调制元件(5)对来自物体(O)的光的波面施加的空间干扰。
搜索关键词: 光轴 方向 扫描 显微镜 装置
【主权项】:
一种光轴方向扫描型显微镜装置,其具有成像光学系统和扫描系统,该成像光学系统具有:多个成像透镜,它们形成最终像和至少一个中间像;第一相位调制元件,其配置于比通过该成像透镜形成的任意的所述中间像靠物体侧的位置,对来自所述物体的光的波面施加空间干扰;以及第二相位调制元件,其配置于与该第一相位调制元件之间夹着至少一个中间像的位置,消除由所述第一相位调制元件对来自所述物体的光的波面施加的空间干扰,该扫描系统用于在光轴方向上对由于来自所述物体的波面通过所述成像光学系统而成的像进行扫描。
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