[发明专利]183纳米激光器及检验系统

摘要

一种用于产生处于大约183nm的输出波长的激光器输出光的激光器组合件包含基频激光器、光学参数系统OPS、五次谐波产生器及混频模块。所述基频激光器产生处于基频频率的基频光。所述OPS产生处于经下变频频率的经下变频信号。所述五次谐波产生器产生所述基频光的五次谐波。所述混频模块混合所述经下变频信号与所述五次谐波以产生处于等于五次谐波频率与所述经下变频频率的和的频率的所述激光器输出光。所述OPS通过产生处于所述经下变频频率的经下变频种子信号且接着混合所述经下变频种子信号与所述基频光的一部分而产生所述经下变频信号。所述频率混合、频率转换或谐波产生中的至少一者利用经退火、经氘处理或经氢处理的CLBO晶体。

主权项

一种用于产生具有在大约180nm与大约185nm的范围内的输出波长的激光器输出光的激光器组合件，所述激光器组合件包括：基频激光器，其经配置以产生具有基频频率的基频光；光学参数系统OPS，其耦合到所述基频激光器使得所述OPS接收所述基频光的第一部分，且所述OPS经配置以产生具有小于所述基频频率的经下变频频率的经下变频信号；五次谐波产生器，其耦合到所述基频激光器使得所述五次谐波产生器接收所述基频光的第二部分，且所述五次谐波产生器经配置以产生具有等于所述基频频率的五倍的五次谐波频率的五次谐波光；及混频模块，其经光学耦合以接收来自所述OPS的所述经下变频信号及来自所述五次谐波产生器的所述五次谐波光，且经配置以通过混合所述经下变频信号与所述五次谐波光而产生所述激光器输出光，其中所述OPS包括：经下变频种子信号产生器，其经配置以产生具有所述经下变频频率及第一功率级的经下变频种子信号；及光学参数放大器OPA，其经配置使得所述经下变频种子信号与所述基频光的一部分通过穿过非线性晶体一次而混合，其中所述非线性晶体经配置使得所述混合产生处于大于所述第一功率级的十倍的第二功率级的所述经下变频信号，且其中所述OPS经配置使得所述经下变频频率与所述五次谐波频率的和产生在大约180nm与大约185nm的所述范围内的所述激光器输出光。