[发明专利]暗场系统中的时间延迟积分传感器

摘要

本发明涉及一种晶片扫描系统，其包含用来减小有效光点大小的成像收集光学器件。较小光点大小使由表面散射的光子的数目与所述光点的面积成比例地减小。空气散射也减少。TDI用来基于在晶片的线运动的方向上积分的多个图像信号产生晶片图像。照明系统用光泛射所述晶片，且产生所述光点的任务被指派给所述成像收集光学器件。

主权项

1.一种用于检验半导体晶片的方法，其包括：用照明场照明安置在R‑θ载台上的移动晶片；收集来自所述移动晶片的光；在旋转扫描期间从时间延迟积分传感器接收第一图像流且使所述第一图像流延迟达对应于所述移动晶片的线速度的持续时间；及对经延迟的所述第一图像流进行积分以产生第一晶片图像，其中：所述时间延迟积分传感器包括对应于所述时间延迟积分传感器的长尺寸的区段的一或多个读出元件，所述一或多个读出元件中的每一者与时钟相关联，所述一或多个读出元件的第一读出元件与所述第一图像流相关联；且与所述第一读出元件相关联的第一时钟信号经配置以减少由线速度速差引起的模糊。