[发明专利]具有Z轴锚跟踪的MEMS加速度计有效
| 申请号： | 201580054004.0 | 申请日： | 2015-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN107110887B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 张欣 | 申请（专利权）人： | 美国亚德诺半导体公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 申发振 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在一些示例性实施方案中，MEMS加速度计包括器件晶片，具有检测质量和附接至基材的多个跟踪锚点。各跟踪锚被构造为：对应于所述基材中的不对称变形偏转，和将对应于所述偏转产生的机械力转移，以使所述检测质量沿着变形方向倾斜。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 跟踪 mems 加速度计 | ||
【主权项】：
MEMS加速度计，包括：器件晶片，具有检测质量和附接至基材的多个跟踪锚点，其中各跟踪锚被构造为：(1)对应于所述基材中的不对称变形偏转，和(2)将对应于所述偏转产生的机械力转移，以使所述检测质量沿着变形方向倾斜。
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