[发明专利]用于材料特性描述的断层图像重建有效
申请号: | 201580054693.5 | 申请日: | 2015-08-15 |
公开(公告)号: | CN107251094B | 公开(公告)日: | 2021-01-08 |
发明(设计)人: | B·M·B·雷库尔;M·帕齐雷什;G·R·迈尔斯;A·M·金斯顿;S·J·莱瑟姆 | 申请(专利权)人: | FEI公司 |
主分类号: | G06T11/00 | 分类号: | G06T11/00 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 郑勇 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的一些实施例提供了一种通过迭代断层图像重建确定样品中材料的材料特性的方法。该方法进行样品的一次或多次X射线断层摄影的扫描,然后使用断层图像重建算法确定样品中的多个体积元的一个或多个估算的材料特性,例如原子序数和强度。然后通过参考存储的已知材料特性数据来修改这些估算的材料特性。优选地,在重建期间确定样品体积的组成包括将样品分割成具有共同组成的区域,在迭代重建期间执行分割而不是基于在迭代重建完成时确定的体素特性。优选的版本将会执行断层图像重建算法一次或多次额外的迭代,其中每一次迭代更新体积元的一个或多个估算的材料特性。 | ||
搜索关键词: | 用于 材料 特性 描述 断层 图像 重建 | ||
【主权项】:
一种通过迭代断层图像重建确定样品中材料的原子序数和强度的方法,包括:(a)从多个方向将X射线导向至样品;(b)测量已经穿过所述样品的X射线的X射线强度;(c)使用断层图像重建算法确定所述样品中的多个体积元的估算原子序数和估算强度;以及(d)通过参考来自材料库中已知材料的原子序数和强度,修改所述估算原子序数和估算强度。
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