[发明专利]多晶硅破碎物、其制造方法及多晶硅块破碎装置有效
申请号: | 201580054867.8 | 申请日: | 2015-10-09 |
公开(公告)号: | CN106794992B | 公开(公告)日: | 2018-07-06 |
发明(设计)人: | 川口一博;藤井正美;内田翔;近藤学;三户美文;义松信昭 | 申请(专利权)人: | 株式会社德山 |
主分类号: | C01B33/02 | 分类号: | C01B33/02;B02C1/02 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 聂慧荃;郑特强 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种多晶硅破碎物、其制造方法及多晶硅块破碎装置。多晶硅破碎物能够对制造单结晶硅晶棒时的操作性、生产性有所帮助。多晶硅破碎物是由破碎多晶硅块而得,其中粒子尺寸500~1000μm的多晶硅粉的含有比例是0.1~40ppmw。 | ||
搜索关键词: | 多晶硅破碎物 多晶硅块 破碎装置 制造 单结晶硅 多晶硅 生产性 晶棒 粒子 破碎 帮助 | ||
【主权项】:
1.一种多晶硅破碎物,是由破碎多晶硅块而得,其中:粒子尺寸500~1000μm的多晶硅粉的含有比例是0.1~40ppmw,该多晶硅破碎物的90质量%以上是2~90mm的粒子尺寸。
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