[发明专利]使用THz频段的检查装置有效
| 申请号： | 201580055107.9 | 申请日： | 2015-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN107148568B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 小山裕;五井广一 | 申请（专利权）人： | 劳雷尔精机株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/892 | 分类号： | G01N21/892;G01N21/3581;G01N22/00;G01N22/02;G07D7/00;G07D7/12 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 梁海莲;余明伟 |
| 地址： | 日本国大阪府*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的检查装置(1)具备：THz波照射部(3)，其对被检查物(2)照射THz波；THz波探测部(5)，其检测被照射到被检查物(2)上的THz波的透射波(4)或反射波(22)；以及信息处理部(10)，其基于被照射THz波的被检查物(2)的透射波(4)或反射波(22)的强度数据，得到被检查物(2)的透射波(4)或反射波(22)的强度分布，信息处理部(10)获取透射波(4)或反射波(22)的二维强度分布，通过对检测没有附着异物(7)的被检查物(2)时得到的强度分布与在检查时检测被检查物(2)时得到的检查时强度分布进行比较，来检测在检查时的被检查物(2)上是否附着有异物(7)。被检查物例如是纸张类。对于附着在被检查物上的异物(7)，信息处理部(10)也可以根据基于异物(7)的折射率与没有附着异物(7)的被检查物(2)的折射率之差的透镜效应而产生的强度变化来检测。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 thz 频段 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种检查装置，其特征在于，具备：THz波照射部，其对被检查物照射THz波；THz波探测部，其检测被照射到所述被检查物上的所述THz波的透射波或反射波；以及信息处理部，其基于被照射所述THz波的所述被检查物的透射波或反射波的强度数据，来得到所述被检查物的透射波或反射波的强度分布，所述信息处理部获取所述透射波或所述反射波的二维强度分布，通过对检测没有附着异物的所述被检查物时得到的强度分布与在检查时检测所述被检查物时得到的检查时强度分布进行比较，来检测在检查时的所述被检查物上是否附着有异物。
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