[发明专利]基于自动化决策的能量分散式X射线方法及设备在审
| 申请号： | 201580055501.2 | 申请日： | 2015-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN106796188A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | H·辛哈;D·斯皮瓦克;H·旭;H·萧;R·博特罗 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一个实施例涉及一种用于对在目标衬底上的有缺陷裸片中检测到的缺陷进行自动化复检的方法。所述方法包含使用次级电子显微镜SEM执行所述缺陷的自动化复检以便获得所述缺陷的电子束图像；执行基于如根据所述电子束图像确定的所述缺陷的形态而将所述缺陷自动化分类成若干类型；选择特定类型的缺陷以用于自动化能量分散式x射线EDX复检；及对所述特定类型的所述缺陷执行所述自动化EDX复检。另外，揭示用于获得准确参考以便改善EDX结果的有用性的自动化技术。此外，揭示基于所述EDX结果将所述缺陷分类的自动化方法，所述自动化方法提供组合形态信息与元素信息两者的最终帕累托。还揭示其它实施例、方面及特征。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 自动化 决策 能量 分散 射线 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种用于对在目标衬底上的有缺陷裸片中检测到的缺陷进行自动化复检的方法，所述方法包括：获得包含所述缺陷的位置的结果文件；使用次级电子显微镜SEM执行所述缺陷的自动化复检以便获得所述缺陷的电子束图像；执行基于如根据所述电子束图像确定的所述缺陷的形态而将所述缺陷自动化分类成若干类型；选择特定类型的缺陷以用于自动化能量分散式x射线EDX复检；及对所述特定类型的所述缺陷执行所述自动化EDX复检。
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