[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀装置、蒸镀方法以及蒸镀掩模的制造方法

摘要

在掩模基板(2)上，磁性体部(4)将掩模基板(2)的Y开口部列(31)间和X开口部列(32)间分别进行划分，并且将X开口部列(32)间进行划分的磁性体部(4)中，位于在Y方向相邻的开口部(3)之间的部分的厚度比位于相互相邻的Y开口部列(31)间的部分的厚度更薄。

主权项

1.一种蒸镀掩模，其用于在被成膜基板上呈矩阵状形成蒸镀膜，该蒸镀掩模的特征在于，具备：掩模基板；和形成于所述掩模基板的第一主面上的磁性体部，所述掩模基板具有：第一开口部列，其由沿着第一方向排列的多个开口部构成；和第二开口部列，其由沿着与第一方向正交的第二方向排列的多个开口部构成，所述磁性体部将所述各开口部列之间分别进行划分，并且，将所述第二开口部列之间进行划分的所述磁性体部中，位于在所述第一方向相邻的所述开口部之间的部分的厚度比位于相互相邻的所述第一开口部列之间的部分的厚度更薄，所述磁性体部具备：条纹状的干线部，其位于所述第一开口部列之间，并且沿着所述第一方向延伸设置；支线部，其沿着所述第二方向从所述干线部向两侧突出；和岛部，其与所述干线部和支线部分离地设置于相互对置的支线部间，并且在相互相邻的所述第二开口部列之间设置于与所述第一开口部列交叉的部分，所述岛部的厚度比相互相邻的所述第二开口部列之间的所述干线部和所述支线部的厚度更薄。