[发明专利]透镜和透镜模具的光学评估

摘要

一种用于确定关于透明光学元件的信息的方法，该透明光学元件包括透镜部分和平面平行部分，所述透镜部分具有至少一个弯曲表面，所述平面平行部分具有相对的第一和第二表面，所述方法包括：将测量光引导到所述透明光学元件；检测自所述平面平行部分的第一表面上的至少一个位置反射的测量光；检测自所述平面平行部分的第二表面在对应于第一表面上的所述至少一个位置的位置处反射的测量光；基于检测到的光，确定关于所述平面平行部分的信息；以及基于关于所述平面平行部分的信息评估所述透明光学元件。

主权项

1.一种用于确定关于透明光学元件的信息的方法，所述透明光学元件包括透镜部分和平面平行部分，所述透镜部分包括至少一个弯曲表面，所述平面平行部分包括相对的第一和第二表面，所述方法包括：相对于包括具有光轴的物镜的光学仪器定位所述透明光学元件，使透明光学元件的第一表面面对所述物镜；将测量光引导通过所述物镜到所述透明光学元件，同时沿所述光轴扫描物镜和透明光学元件之间的相对位置；在第一表面面对物镜的情况下扫描期间，检测自所述平面平行部分的第一表面上的至少一个位置反射的测量光；在第一表面面对物镜的情况下扫描期间，检测自所述平面平行部分的第二表面在对应于第一表面上的所述至少一个位置的位置处反射的测量光；基于检测到的光，确定关于所述平面平行部分的信息；以及基于关于所述平面平行部分的信息评估所述透明光学元件，其中，关于所述平面平行部分的信息包括所述平面平行部分的第一表面的高度分布和所述平面平行部分的第二表面的高度分布。