[发明专利]用于减少在管芯级激光剥离期间所受机械损伤的蓝宝石收集器有效
| 申请号： | 201580056846.X | 申请日： | 2015-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN107073644B | 公开（公告）日： | 2020-03-13 |
| 发明（设计）人： | D.聂;K-H.郑 | 申请（专利权）人： | 亮锐控股有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/142;B23K26/0622;H01L33/00;B23K101/40;B23K101/42;B23K103/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 景军平;陈岚 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蓝宝石收集器（SC），包括一个或多个特征（结构特征及参数特征），以用于在管芯级激光剥离（LLO）期间捕获从半导体结构移除的管芯大小的蓝宝石芯片。这些特征经设计以增加每个蓝宝石芯片在其从该半导体结构释放之后立即由该蓝宝石收集器稳固地捕获的可能性。该蓝宝石收集器包括具有拾取元件的真空增强收集器及进一步引导该芯片至该收集器隧道从而导向废弃仓的空气推进器，其中拾取元件将每个所释放的芯片抬起至该收集器中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 减少 管芯 激光 剥离 期间 机械 损伤 蓝宝石 收集 | ||
【主权项】：
一种收集器系统，包括：腔，接收经由激光剥离从基台释放的芯片；隧道，向所述腔提供真空且从所述腔移除所述芯片；斜切拾取元件，从所述收集器系统的底侧延伸，且包括开口，所述芯片通过所述开口进入所述腔。
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