[发明专利]坚固的微机电开关

摘要

本发明涉及一种微机电系统开关(1)，包括信号输入线(4)，信号输出线(5)，电连接到线路(5)的可变形导电膜(2)，并包括面对线(4)的接触凹部(9)，膜(2)的致动电极(3)，其特征在于，膜(2)具有平面的圆形的形状，在信号输入线(4)的方向上具有径向开口(2a)，其从膜(2)的外周朝向中心变窄，接触凹部(9)形成在膜(2)的中心区域中，致动电极(3)具有与膜(2)相同的形状，并且膜(2)和致动电极(3)之间的间隙仅为气隙，其中膜(2)面向致动电极(3)。

主权项

1.一种微机电(MEMS)开关(1)，包括：‑一基板(S)，‑一形成在所述基板(S)上的信号输入线(4)，‑一形成在所述基板(S)上的信号输出线(5)‑一可变形导电膜(2)，电连接到所述信号输出线(5)上，所述可变形导电膜(2)通过布置在所述基板(S)上的锚(6)悬置在一平面中，其中平面平行于所述基板(S)的平面，所述可变形导电膜(2)包括一面对信号输入线(4)的接触凹部(9)，使得在可变形导电膜(2)的未变形状态下，接触凹部(9)不与信号输入线(4)接触，并且在可变形导电膜(2)的变形状态下，所述接触凹部(9)与信号输入线(4)接触，以用于从信号输入线(4)传送信号到信号输出线(5)，‑一致动电极(3)，形成在所述可变形导电膜(2)下方的所述基板(S)上，所述致动电极(3)用于使所述可变形导电膜(2)变形，以在所述可变形导电膜(2)的接触凹部(9)和信号输入线(4)之间产生电接触，其特征在于：‑所述可变形导电膜(2)具有平面的圆形的形状，所述锚(6)布置在其周边，以便在可变形导电膜(2)的中心区域中集中一较低的刚度，所述可变形导电膜(2)并且具有径向开口(2a)，其在信号输入线(4)的方向上形成一锐角，使可变形导电膜(2)的周边朝向中心变窄，接触凹部(9)形成在可变形导电膜的中心区域(2)，使得信号输入线(4)的端部与接触凹部(9)相对，‑所述致动电极(3)具有与所述可变形导电膜(2)相同的形状，并围绕在所述信号输入线(4)的所述基板(S)上，以及‑可变形导电膜(2)的下表面和致动电极(3)之间的间隙仅为一气隙，其中可变形导电膜的下表面面对致动电极。