[发明专利]制造用于脊髓硬膜外刺激的多电极阵列的方法

摘要

在某些实施方案中，提供了一种用于脊髓硬膜外刺激的电极阵列，其中所述阵列包括设置在柔性聚合物衬底上的多个电极；所述电极被电连接到电连接器上的一个或多个导线和/或连接点；其中所述阵列的电极键合到所述聚合物上，使得所述电极可携带具有足以在体内或在生理盐水溶液中提供脊髓和/或脑的硬膜外刺激的电压、频率和电流的电刺激信号，而整个电极或电极的一部分不会从所述聚合物衬底上分离。

主权项

一种制造用于脊髓硬膜外刺激的电极阵列的方法，所述阵列包括设置在柔性聚合物衬底上的多个电极，所述方法包括：在支撑表面上沉积聚合物层并固化所述聚合物层以形成固化的聚合物层；粗糙化所述固化的聚合物层的表面；使用气相沉积并剥离以沉积金属、金属合金和/或金属氧化物电极层并限定多个电极；在所述电极上沉积第二聚合物层并固化所述聚合物层以形成第二固化的聚合物层；在所述第二聚合物层上沉积二氧化硅薄膜并用等离子体蚀刻机使用反应离子蚀刻限定所述薄膜中的细部；将正性光致抗蚀剂涂料涂布到暴露表面上；使用显微光刻术生成电极接触图案；使用氧等离子体工艺来限定所述电极阵列的形状以及暴露电极的接触金属层和连接器衬垫；进行氧/CF4RIE以粗糙化所述电极的接触表面；并且将所述电极阵列从所述支撑表面上分离。